
100ppm前後のフッ化水素が対応含まれるガスに対応した特殊仕様(2025年製作)
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ガス浸炭炉・変成炉対応の台車式露点計測システム(排気燃焼筒・フレームアレスタ装備)

金属熱処理の現場を中心に活躍している台車式露点計測システム(低露点仕様・空冷仕様)
鏡面(結露面)の温度を露点以下に下げると,露(霜)が付着し始め、露点以上に上げると,付着していた露(霜)は蒸発しはじめる。鏡面上の露(霜)の付着量の増減を鏡面からの反射光で検出し,この付着量が一定になるように結露面の温度を自動制御し,鏡面温度を制御する。それを露点(霜点)として表示する計測器です。
露点の定義そのものに基づいた計測方法による露点計です。
鏡面(結露面)の冷却には,ペルチェ素子(半導体素子)のペルチェ効果を利用した電子冷却器を用います。機種によってはペルチェ素子とスターリング冷凍機を併用する場合もあります。ペルチェ素子による電子冷却器のみを使う場合,ペルチェ素子の放熱面を水冷することで低露点側の測定範囲を広げることのできる鏡面冷却式露点計もあります。
(写真:鏡面冷却式露点計DewStar S-1S-6G(神栄テクノロジー製)の鏡面)
露(霜)の付着の検出方法として,結露面からの反射又は散乱光量(フォトトランジスタなどで計測)を利用します。
なお,鏡面に付着したものが水(露)か,氷(霜)かを光学的には区別できませんが,露点計本体の工夫によりそれを区別できるモデルも存在します。
工業炉の雰囲気の露点の自動計測には,神栄テクノロジー株式会社製のDewStarシリーズ鏡面冷却式露点計が様々なガス種に対応できる点や,粉塵などに対する耐久性,メンテナンス性などの面などから使いやすいと考えられます。DewStarシリーズの場合、オプションでフッ化水素ガスがppmオーダーで含まれる腐食性の高いガスが含まれるガスの露点計測にも対応できます。
新和実業株式会社では神栄テクノロジー製の鏡面冷却式露点計本体に弊社の30年以上に亘り積み重ねてきた露点計測の経験とノウハウをセットにして、お客様の現場に露点計測ソリューションをご提供します。
露点計測範囲(露点計本体が神栄テクノロジー製DewStarシリーズで露点計の周囲温度が25℃の場合)
-75℃〜25℃(低露点モデル:DewStar S-2S-6)
-40℃〜25℃(標準モデル:DewStar S-1S-6)
-40℃〜50℃(標準モデル・ヒータ内蔵型:DewStar S-1S-E)
0℃〜95℃(高露点モデル・DewStar S-3S-6)
鏡面冷却式露点計本体のシステム精度
±0.2℃DP以内(DewStar S-2で-50℃FP以下は±0.4℃FP以内) 繰返し性は±0.1℃DP(@周囲温度25℃)
主な用途
鉄鋼材料のガス浸炭・焼鈍・時効・窒化・浸炭窒化などの炉における雰囲気管理(電磁鋼板などの焼鈍にも)
電磁鋼板の脱炭焼鈍・焼結炉・ろう付炉の雰囲気ガスの管理
吸熱形ガス変成炉(RXガス発生機)のエア・ガス比のコントロール(ミキサー調整)
粉塵を多く含む雰囲気ガスの露点計測
など
新和実業株式会社からの主な納入事例
鉄鋼材料のガス浸炭炉および吸熱型ガス変成炉の雰囲気の露点計測
軸受鋼(SUJ2)の浸炭窒化炉の雰囲気の露点計測
ガス窒化炉の露点計測
N2+H2雰囲気のメッシュベルト型焼結炉の露点計測
N2+H2雰囲気の時効炉の露点計測
琺瑯の焼成炉の雰囲気の露点計測
など、工業炉の炉内雰囲気を中心に多数。
台車式露点計測システム(鏡面冷却式)の一般仕様書はこちらから
2000年代前半まで,ガス浸炭焼入炉を使っている現場では雰囲気ガスの管理に露点カップ(Dew CUP・JIS Z 8806にある肉眼判定式露点計)を使うケースが一般的でした。一方,1990年代後半,アメリカ製の鏡面冷却式露点計(自動露点計)日本国内に輸入されるようになりました。弊社では1996年,この鏡面冷却式露点計(自動露点計)がガス浸炭炉など,工業炉の雰囲気の露点計測に利用出来ることを確認し,それ以来多くのお客様にご提供してきました。
鏡面冷却式露点計は露点カップに比べて非常に高価です。そこで1台の鏡面冷却式露点計でいくつかの熱処理設備の露点計測を1台で手軽にしたいという考えから,鏡面冷却式露点計本体,ガスサンプルフィルタ,ガス流量計,ガスサンプルポンプ,記録計を1台の台車に組み込んだ「台車式露点計測システム」を熱処理現場を中心としたお客様にご提案してきました。
この考え方は広く熱処理現場などで受け入れられ,1996年の販売開始から今日までに70セットの納入実績があります。
また,台車式にしたことで,お客様としては少ない投資金額で最大限の効果を発揮することにもつながっています。
この台車式露点計則システムには,新和実業株式会社が長年培ってきた雰囲気ガス熱処理炉の炉内雰囲気ガスの分析に関するノウハウが詰め込まれています。
もちろん,この鏡面冷却式露点計を利用した台車式露点計則システムは,工業炉向け以外の用途でもご活用頂くことができます。詳細は弊社までお気軽にお問い合わせ下さい。
標準仕様
| 露点計本体 | DewStar S-1S-6G(神栄テクノロジー株式会社製 鏡面冷却式露点計) 計測範囲 -40℃DP〜25℃DP(周囲温度25℃の場合・空冷仕様) |
| 主な特殊仕様 | 接ガス部テフロンコーティング仕様 光学系保護用棒状保護レンズ付仕様 プラチナ鏡面仕様 フッ化水素(HF)対応特殊仕様(HFが100ppm前後含まれるガスの場合になど対応) |
| 主な装備 | 鏡面冷却式露点計本体、露点モニタ(表示器)、ガスサンプルポンプ、流量計、 フィルタ、電源回路、記録計(オプション)、 ホットホース(25℃以上の露点計測がある場合) フィルタはお客様の露点計測の用途に応じて選定(フィルタレス仕様も可能) |
| データ出力 | DC4-20mA,DC0-5V(スケーリング可能),RS-232Cに対応(専用ソフトウエア付) |
| 台車寸法 | 600(W)×400(D)×750(H) (突起部・フットブレーキ等を除く) |
| 電源 | AC100V 単相 1.5A(150W)(異電圧仕様の場合は台車内にダウントランスを搭載) |
| 主な用途 | ガス浸炭炉,焼入炉,吸熱型変成炉(RXガス発生機),ろう付炉, 発熱型変成炉(DXガス発生機),時効炉,溶体化炉,連続焼結炉,窒化炉(注1), 電磁鋼板などの焼鈍炉などの雰囲気ガスの露点計測, 露点計の標準器として 上記の工業炉向け等のほか,ドライルームやクリーンルームの大気の露点管理など,様々な用途にご利用頂けます |
(注1)窒化炉の雰囲気を鏡面冷却式露点計で計測した場合は,NH3の蒸気圧が高いことから,露点ではなく
HN3+H2Oの沸点の計測になります。この沸点の値は炉内のH2O分圧に依存します。
(鏡面冷却式露点計がH2Oの蒸気圧に依存した湿度計測を行っているためですが,NH3の蒸気圧が
H2Oの蒸気圧よりも高いことから,H2Oのみの露点が計測できず,実際にはH2O+NH3の沸点の計測に
なります。)このとき,-33℃以上の値しか計測されませんが,この値で窒化炉の雰囲気管理が一般的
に行われています。
窒化炉の雰囲気について正確な露点計測を行うには,TDLAS式露点水分計での計測が必要です。
(高炭素鋼の浸炭窒化炉の雰囲気の場合は標準仕様の鏡面冷却式露点計を使ったシステムで露点計測が
可能で,熱処理の現場への納入実績もあります。)
低露点仕様
| 露点計本体 | DewStar S-2S-6G(神栄テクノロジー株式会社製 鏡面冷却式露点計) 計測範囲 -65℃DP〜25℃DP(周囲温度25℃の場合・空冷仕様) -75℃DP〜25℃DP(周囲温度25℃の場合・水冷仕様) |
| 主な特殊仕様 | 接ガス部テフロンコーティング仕様 光学系保護用棒状保護レンズレンズ付仕様 プラチナ鏡面仕様 フッ化水素(HF)対応特殊仕様(HFが100ppm前後まで含まれるガスの場合のみ対応) |
| 主な装備 | 鏡面冷却式露点計本体、露点モニタ(表示器)、ガスサンプルポンプ、流量計、 フィルタ、電源回路、記録計(オプション)、 ホットホース(25℃以上の露点計測がある場合) フィルタはお客様の露点計測の用途に応じて選定(フィルタレス仕様も可能) 水冷仕様の場合は冷却水配管、チラーなどを追加装備可能。 |
| データ出力 | DC4-20mA,DC0-5V(スケーリング可能),RS-232Cに対応(専用ソフトウエア付) |
| 台車寸法 | 600(W)×400(D)×750(H) (突起部・フットブレーキ等を除く) |
| 電源 | AC100V 単相 2.5A(250W)(異電圧仕様の場合は台車内にダウントランスを搭載) |
| 主な用途 | ろう付炉・時効炉(低露点での雰囲気の管理が必要な炉)・焼結炉, アンモニアガス変成炉(AXガス発生機・N2(25%)+H2(75%)), 熱処理設備に供給するガスの露点管理、無酸化加熱炉の炉内雰囲気の露点管理、 静電容量式露点変換器(センサ式露点計)の精度確認、 ドライルームやクリーンルームの湿度管理、 金属空気電池開発現場での正極側の空気の露点評価・管理 露点計の比較校正用標準機として |
| 特記事項 | -40℃以下の低露点領域,-55℃以下の 微量水分領域での連続測定が必要な場合は,TDLAS式露点水分計またはCRDS微量水分計を使ったシステムでご提案する場合があります。 -40℃以下の領域で,露点(霜点)の測定精度が±2℃〜±3℃の範囲で十分な場合で,雰囲気ガスがN2のみまたはN2+H2の場合に限り,静電容量式露点変換器(センサ式露点計)でご提案することも可能です。可能であれば精度確認のために鏡面冷却式露点計との併用をお勧めします。 |
対応可能な主な特殊仕様一覧(必要に応じて選択可能なオプション)
| 特殊仕様 | 特殊仕様の目的 |
| 棒状保護レンズ変更 (サファイヤガラス特殊仕様) |
フッ化水素(100ppm以下)を含むガスの露点計測 |
| 高露点仕様(+50℃DPまでの場合) | +50℃DPまでの高露点仕様が可能です。 計測するガスの露点によっては弊社HPにある台車式では対応ができませんのでご了承下さい。ホットホースとその制御回路、電子冷却式ガスクーラー、ドレンポットなどが追加されます。 |
| Oリング材質変更(FKMからFFKMへ) | 接ガス部の耐食性を向上させるため、計測するガスに含まれる成分によりOリングの材質を変更。 |
| 出荷時校正点(校正温度)追加 | 出荷時の校正温度の追加(出荷後の点検・校正時にも対応) 注) S-1において-20℃以下の校正点を追加する場合で検査成績書、校正証明書、トレーサビリティー体系図を必要とされる場合は低露点仕様の書類も追加になりますのでその分の費用が追加で発生します。 |
| 英文検査成績書追加(英文のみも可能) | お客様のご要求による(一般校正の場合) |
| 英文校正証明書追加(英文のみも可能) | |
| 英文トレーサビリティー体系図 (英文のみも可能) |
お客様のご要求による(一般校正の場合) 一部の内容は和文の内容となりますのでご了承下さい。 |
| JCSS校正 | JCSS校正の実施 (指示なき場合は一般校正を標準とします) |
| 台車側ガスサンプル系統の フッ化水素ガス対応 |
台車式露点計測システムについて台車内のガスサンプル系統のフッ化水素ガス対応(フッ化水素が100ppm前後までの濃度である場合に限る)が可能。仕様詳細は別途仕様をご提示します。 |
| 台車への記録計追加 | 台車への記録計の追加が可能です。広く各メーカーの製品が選択可能です。ただし、パネルカット寸法が137mm×137mmの製品に限ります。 グラフテック社のGLシリーズの取り付けも可能です。 |
| 排気燃焼筒追加 | 露点を計測した可燃性ガスの排気を燃焼させるための燃焼筒を台車上部に追加します。逆火防止器(金網式フレームアレスタ)も同時に装備します。 |
| 海外向け仕様 | 一次電源のAC220V/230V仕様(御見積時に決定) 輸出貿易管理令に基づく該非自己判定書の発行 輸出時に必要なパッキングリストの発行 予備品(消耗品)追加 など |
-75℃DPの露点計測をするため,水冷仕様とし,さらに狭い場所に設置した事例です。
露点計測範囲は-75℃DP〜25℃DP(周囲温度が25℃の場合)
複数の系統からのガスの導入とその切替が可能です。設備に導入する高圧の窒素ガスを減圧した上で露点計測を行うことのできる仕様です。
低圧のガスの露点計測をするためのガスサンプルポンプも装備しています。
写真のものは,記録計としてグラフテック社製のGL-220を装備しています。
供給する冷却水は20℃前後でした。
計測した露点に応じてアラームの鳴動と積層表示灯(3色)を点灯させるようにしたシステムです。台車内にはパトライト点灯はオプションによる対応です。
NADCAP認証対応のシステムとして製作したものです(焼入炉用)。
露点計測範囲は-40℃DP〜25℃DP(周囲温度が25℃の場合)です。
ガスサンプルフィルタ,配管等はガス浸炭炉の露点計測用として実績のあるものを選定しています。
また,露点計測後のCOを含むガスを安全に燃焼させるための燃焼筒(フレームアレスタ付)を装備しています。
60台以上の販売実績を誇る台車式露点計則システムです。
露点計測範囲により,通常タイプ(-40℃〜25℃)と低露点タイプ(-65℃〜25℃)(いずれも周囲温度が+25℃の場合)の2種類をラインナップしています。
いずれも,お客様のご希望,測定条件などによりカスタマイズすることが可能です。